全自動掃描電鏡是生產(chǎn)工藝中的關(guān)鍵設(shè)備 ，全自動掃描電鏡采用強(qiáng)大的ARM 32位嵌入式微處理器平臺，內(nèi)置的RISC指令系統(tǒng)，為嚴(yán)謹(jǐn)復(fù)雜的計(jì)算運(yùn)行提供保障，寬大的彩色觸摸顯示屏、創(chuàng)新的界面軟件，存儲量可多達(dá)1000組數(shù)據(jù)信息，可通過U盤、SD卡等移動設(shè)備將數(shù)據(jù)導(dǎo)出或通過USB、RS232接口直接連接PC。

全自動sem掃描電鏡保證整個(gè)測試過程能夠在一個(gè)可控的恒定溫度下進(jìn)行，確保了測試結(jié)果的穩(wěn)定性、準(zhǔn)確性，標(biāo)配高分辨率CCD傳感器，通過獨(dú)特的信號采集和分析處理技術(shù)，能夠準(zhǔn)確地完成各種樣品的分析實(shí)驗(yàn)，高亮度LED光源，光色純正，使用壽命超過100000小時(shí)。位于試樣槽內(nèi)的藍(lán)寶石級棱鏡，是普通棱鏡耐磨損程度的30倍，巧妙的清洗設(shè)計(jì)，避免了常規(guī)清洗所帶來的繁瑣及棱鏡劃傷。

全自動掃描電鏡是一款全自動、無損顯微分析系統(tǒng)，可針對幾乎所有無機(jī)材料和部分有機(jī)材料，迅速提供在統(tǒng)計(jì)學(xué)上可靠且可重復(fù)的礦物學(xué)、巖相學(xué)和冶金學(xué)數(shù)據(jù)，在采礦業(yè)，全自動sem掃描電鏡可用于礦產(chǎn)勘查、礦石表征和選礦工藝優(yōu)化。在石油和天然氣行業(yè)，對鉆井巖屑和巖心試樣進(jìn)行顯微分析，從而降低風(fēng)險(xiǎn)并提高采收率。在煤炭行業(yè)，利用該系統(tǒng)自動分析煤、煤粉和煤燃燒產(chǎn)物，可以更好地了解煤燃燒和廢物利用情況。

由于高能電子與物質(zhì)的相互作用，結(jié)果在試樣上產(chǎn)生各種信息如二次電子、背反射電子、俄歇電子、X射線、陰發(fā)光、吸收電子和透射電子等。因?yàn)閺脑嚇又兴玫礁鞣N信息的強(qiáng)度和分布各自同試樣表面形貌、成分、晶體取向、以及表面狀態(tài)的一些物理性質(zhì)（如電性質(zhì)、磁性質(zhì)等）等因素有關(guān)，因此，通過接收和處理這些信息，就可以獲得表征試樣形貌的掃描電子像，或進(jìn)行晶體學(xué)分析或成分分析。

在全自動掃描電鏡應(yīng)用中，很多集中在半導(dǎo)體器件和集成電路方面，它可以很詳細(xì)地檢查器件工作時(shí)局部表面電壓變化的實(shí)際情況，這是因?yàn)檫@種變化會帶來象的反差的變化，焊接開裂和腐蝕表面的細(xì)節(jié)或相互關(guān)系可以很容易地觀察到。