電子光學(xué)系統(tǒng)清洗的一般原則：

掃描電鏡電子光學(xué)鏡筒的某些部位可能會觀察到有不同程度的污染跡象，例如電子槍亮度減低，電子透鏡的象散加大，這需要操作者判斷污染的部位和程度。拆卸這些部位，朝向電子束的任何表面可能都需要一次或多次清洗和拋光。清潔的電鏡，電子束亮度zgao，圖象信噪比較好，象散較小，象散器位置接近零位。

四、鏡筒襯管的維護和清洗
使用專用工具拆卸和清洗SEM掃描電鏡鏡筒襯管，清洗前準備好鏡筒襯管清洗棒、金屬鏡筒襯管拆卸工具和鏡筒襯管光闌拆卸工具。
重裝鏡筒襯管光闌：使用無毛布或無毛手套。注意：在重新安裝光闌組件與安裝鏡筒襯管之前，仔細檢查清洗過的部件，不應(yīng)留有有機物殘渣。只能用小鑷子來夾光闌。
光闌放在光闌帽內(nèi)，當(dāng)組件z終安裝在襯管內(nèi)后光闌的較平滑一面應(yīng)朝上，擰上光闌帽。

五、二次電子探測器維護
電子探測器維護包括三個主要組成部分，它們需要階段維護。它們包括閃爍體本身、閃爍體固定圈和柵網(wǎng)。由于閃爍體經(jīng)過二次電子長時間的轟擊，會造成閃爍體表面污染，為此會造成閃爍體產(chǎn)生電荷積累而發(fā)生放電現(xiàn)象以及閃爍體發(fā)光效率降低，使圖象的信噪比下降。
在觀察圖象時可以觀察到掃描電鏡探測器的放電現(xiàn)象，在光柵掃描期間形成“脈沖閃爍”或“斑點”，有時即使在電子束關(guān)閉狀態(tài)時也可在普通操作對比度下觀察到這種放電現(xiàn)象。這些周期性出現(xiàn)的閃爍要與由于低信噪比引起的統(tǒng)計噪音和由于高對比度設(shè)置產(chǎn)生的光電倍增噪音區(qū)別開。當(dāng)信號電平、信號質(zhì)量及分辨率下降非常明顯時，就應(yīng)更換閃爍體了。

六、真空系統(tǒng)維護
SEM掃描電鏡物鏡光闌桿、樣品室門和發(fā)射室的“o”型圈暴露后應(yīng)拆下清洗。只需要在樣品室門打開時檢查一下，如果沾有毛絨或灰塵只要簡單地用酒精沾濕的無毛布擦拭整個“o”型圈即可。物鏡光闌桿上的“o”型圈每次清洗后都需要涂抹很少量的硅樹脂真空脂，應(yīng)盡可能少量使用，不能涂多。

七、隔振和減震系統(tǒng)的維護
振動來源于外界和并且有賴于系統(tǒng)內(nèi)部的穩(wěn)定性。掃描電鏡系統(tǒng)抗振能力包括主動避振能力和被動避振能力。因此對減振避震系統(tǒng)的充分了解有利于提高維護意識。