電子光學系統(tǒng)：

　　組成：電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件。

　　作用：獲得掃描電子束、作為產生物理信號的激發(fā)源。

信號收集和顯示系統(tǒng)：

　　信號收集：二次電子和背散射電子收集器、吸收電子顯示器、X射線檢測器（波譜儀和能譜儀）

　　顯示系統(tǒng)：顯示屏有兩個，一個用于觀察，一個用于記錄照相。

真空系統(tǒng)：

　　組成：機械泵、擴散泵

　　作用：保證電子光學系統(tǒng)正常工作，提供高真空度，防止樣品污染，保持燈絲壽命，防止極間放電。

電源系統(tǒng)：

　　包括啟動的各種電源，檢測-放大系統(tǒng)電源，光電倍增管電源，真空系統(tǒng)和成像系統(tǒng)電源燈。還有穩(wěn)壓、穩(wěn)流及相應的安全保護電路。